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上海东贝真空设备有限公司

SHANGHAI DONGBEI VACUUM EQUIPMENT CO.LTD.

静态膨胀法真空标准装置
    发布时间: 2019-08-21 10:12    
静态膨胀法真空标准装置


  静态膨胀法真空标准装置主要用于( 1×105 ~ 1×10-4 ) Pa范围内热传导真空计,压阻、电容薄膜真空计,电离真空计,热偶真空计等的检定/校准工作。

技术规格
设备组成:膨胀系统、抽气系统、前级压力测量系统、烘烤系统和控制系统等组成
◆ 技术原理:静态膨胀法,二级膨胀
◆ 测量范围:( 1×105 ~ 1×10-4 ) Pa
◆ 极限真空度:5×10-8 Pa
◆ 不确定度技术要求: 
 (1×105~1×103)Pa   U≤0.1%  k=2    比对法
 (1×103~1)Pa       U≤1%  k=2   一级膨胀
 (1~1×10-4)Pa       U≤2%   k=2   二级膨胀
◆ 抽气时间:在充分烘烤情况下,达到10-6 Pa的时间不超过4h

特点
◆ 膨胀法技术原理先进
◆ 工作范围宽,功能较多,可开展高、中、低真空范围内工作真空计的检定/校准工作,并预留及工作漏孔校准单元的接口
◆ 主标准采用进口仪器,技术规格高,完全满足量传要求;抽气机组也采用进口产品,抽速大,极限真空度高
◆ 校准室采用符合ISO标准的圆球形,且内外抛光并进行特殊除气处理;关键阀门均采用进口产品,确保可靠性
◆ 采用专用软件进行数据采集及处理,工作效率高
◆ 系统软件终身免费升级,预留标准漏孔检测控制程序
◆ 装置总体水平达到国内先进水平