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上海东贝真空设备有限公司

SHANGHAI DONGBEI VACUUM EQUIPMENT CO.LTD.

高真空/极高真空校准装置
    发布时间: 2019-08-21 10:12    
高真空/极高真空校准装置


  本装置技术规格达到国内同级别装置领先水平,同时兼并了真空计量的发展需要,可操作性强。方案功能齐全,符合相关真空标准要求,易于开展业务;
  装置校准对象包括:热传导真空计、压阻真空计、电容薄膜真空计、绝对压力变送器、电离真空计等。

真空校准技术规格

校准范围

准确度/不确定度

1×10-1Pa~133.32kPa

±(0.15%~2)%

1×10-1Pa~1×10-4Pa

±2%


漏率校准技术规格
  校准范围:10-5~10-9 Pam3/s  不确定度:U=15%  K=2,实现计算机数据采集漏率运算以及原始记录打印输出功能。

具体参数
1) 校准室尺寸:高真空校准室上下双球,中间孔板设计,球形真空室内径Φ350mm,低            真空校准室球形真空室内径Φ250mm。
2) 极高真空:上球室优于2×10-9Pa;
       下球室优于1×10-9Pa;
  高真空: 上球室优于2×10-7Pa;
       下球室优于1×10-7Pa;
  中低真空:校准室优于1×10-4Pa;
3) 控制压力稳定度:<1%/min
4) 烘烤温度:250℃温度可控