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上海东贝真空设备有限公司

SHANGHAI DONGBEI VACUUM EQUIPMENT CO.LTD.

正压漏孔校准装置
    发布时间: 2019-08-21 09:44    
正压漏孔校准装置

  本装置采用MKS公司生产差压薄膜规,量程为1Torr,测量精度为示值的0.15%,最小压强分辨率为0.01Pa,不重复性为0.01%FS(FS为满量程),零点温度系数30ppm.FS/℃,满量程的温度系数0.01%FS/℃,测量活塞外径2.50mm,测量误差不超过±5μm,标准温度计分辨率0.1℃,大气压力由setra公司生产的1000Torr电容薄膜真空计测量精度为0.2%。该装置有恒压、定容两种操作方法。


技术规格
◆ 测量范围是 1×10 -4 Pa·m3/s~ 1×10 -6 Pa·m3/s,即为(1E-4~1E-6) Pam3/s
◆ 校准不确定度:U=5%(k=2)
◆ 气动阀门控制,结合专用校准软件可实现计算机自动控制、数据采集、漏率计算和原始记录生成
◆ 装置配备控温箱,在实验室温度(23±5)℃度范围内,控温点在(10~30)℃可设定控温箱温度变化不超过±0.1℃的控制要求   

特色
  相比较常规正压检漏方法,本装置灵敏度更高,不确定度更小,活塞杆由气缸推动,容栅尺测量。

使用环境条件
◆ 电源要求:220V 不小于5A
◆ 环境温度(23±5)℃,校准过程中室温变化不超过±1℃
◆ 相对湿度不大于80%