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SHANGHAI DONGBEI VACUUM EQUIPMENT CO.LTD.

通道型漏孔VTL-B/C
    发布时间: 2019-08-21 09:16    
通道型漏孔VTL-B/C
1.范围
  VTL-B/C系列标准漏孔为通道型标准漏孔,漏孔元件主要是金属压扁管和微通道毛细管,其漏率量级可以达到10-3~10-10Pa·m3/s。VTL-B型为真空漏孔,VTL-C型为正压漏孔。该系列漏孔主要作用包括:1)经校准/检定后可以作为标准漏孔对检漏仪进行检验标定。2)作为模拟漏孔应用在检漏系统上,对整套检漏系统的有效性、灵敏度进行验证,并通过比对可计算漏孔的实际漏率,为判断产品是否合格提供依据。3)用作考核用标准漏孔,方便进行量值溯源。

2.安全
  本说明书主要包含标准漏孔的安全、操作和维护等信息,用户有责任遵循本说明书中与安全相关的警告、注意事项和其他要求,以免因不恰当使用标准漏孔而对人员或设备造成损害。以下安全防范措施应始终遵循。

表1:安全注意事项

对象

预防措施

放空

通过充气阀排空可重复充气的储气罐(气室)时,阀门出口应远离人面部、身体和其他人。

储气罐(气室)

储气罐在充压时应按照规定要求执行(详见第6节)。
警告:禁止超过规定的压力。

密封完整性

在任何情况下,密封都不可被破坏、松动、熔化或拆卸。密封是否因意外或其他原因损坏,请联系东贝真空确认,并立即为其作进一步的安全预防。

漏孔保护

带气室漏孔禁止发生掉落、投掷、刺穿、焚烧或其他危害方式。不要对已损坏的气室重新加压。

可用气体

除标签和证书上规定的气体外,不要使用其他气体。

有害气体

不要使用任何有毒或有害气体。

温度

禁止对气室加热超过50°C,且不要在0℃以下冷却。(如需要特殊环境漏孔需特殊定制)。

漏孔损坏

如果标准漏孔有明显的损坏迹象,请停止使用,并将其送回东贝真空进行维修。

  
3.技术指标及特性
1) 充装气体:He,D2,H2,N2,95%N2+5%H2混合气体等(可定制)
2) 测量范围:一般在10-3-10-10 Pa·m3/s
3) 示值允许偏差: ±15% 
4) 温度补偿:0.3%/℃
5) 抗堵塞能力:金属压扁型:一般;微通道型:优异
6) 隔离阀:手动(选配)
7) 接口:KF16、KF25、VCR等可定制
8) 出口:真空或大气
9) 气室容积:150mL、200mL、500mL、1000mL或定制
10) 充压:可重复充气
11) 压力:-100kPa ~ 10MPa(具体详见标签)
12) 年衰减:(阀门常开)实际衰减量取决于压力、储气罐大小和泄漏率(具体详见标签)

4.标准漏孔组成

4.1漏孔元件
  漏孔元件为微通道毛细管或金属压扁管。微通道毛细管根据漏率需求选取不同孔径和长度,抗震、抗摔、抗堵塞;金属压扁型温度系数低,可以烘烤,不易损坏,但比较易堵塞。
  真空标准漏孔(VTL-B)漏孔元件安装在隔离阀与气室之间,正压标准漏孔(VTL-C)漏孔元件安装在隔离阀后,两种类型的漏孔不建议混用以免造成一定的量值误差。
4.2储气罐(气室)
  气室是向漏孔提供气源的装置,一般是具有固定体积的钢制容器。 
4.3连接
  根据泄漏类型,标准漏孔的出口端连接到检测系统、检漏仪或其他一些工艺系统。漏孔连接一般为KF16、KF25、VCR标准接口或定制。
4.4隔离阀(选配)
  为了便于操作标准漏孔,可以在出口端口配置隔离阀。
4.5充气阀
  需要定期重新加压的标准漏孔通常还配备充气阀,建议由东贝真空重新充压。
4.6压力表(选配)
  压力表为选配,可用于多点校准漏孔,对应查找压力—漏率对应表。可提供Q-P曲线。
4.7标签
  标签在尺寸允许的情况下,其一般包括漏孔的一些重要物理数据,这些数据在相应的校准证书上均有体现。