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SHANGHAI DONGBEI VACUUM EQUIPMENT CO.LTD.

渗氦漏孔VTL-A
    发布时间: 2019-08-21 09:16    
渗氦漏孔VTL-A
1.范围
  VTL-A系列标准漏孔为石英玻璃渗氦型标准漏孔,其漏率量级一般为10-7~10-12Pa·m3/s。该型漏孔主要作用包括:1)经校准/检定后可以作为标准漏孔对氦质谱检漏仪进行检验标定。2)作为模拟漏孔应用在真空检漏系统上,对整套检漏系统的有效性、灵敏度进行验证,并通过比对可计算漏孔的实际漏率,为判断产品是否合格提供依据。3)用作考核用标准漏孔,方便进行量值溯源。

2.安全
  本说明书主要包含标准漏孔的安全、操作和维护等信息,用户有责任遵循本说明书中与安全相关的警告、注意事项和其他要求。以免因不恰当使用标准漏孔而对人员或设备造成损害。以下安全防范措施应始终遵循。

表1:安全注意事项

对象 预防措施
气室 VTL-A系列标准漏孔不是用户可自行重复充压的气室,禁止试图自行充压。
密封完整性 在任何情况下,密封都不可被破坏、松动、熔化或拆卸。密封是否因意外或其他原因损坏,请联系东贝真空确认,并立即为其作进一步的安全预防。
漏孔保护 带气室漏孔禁止发生掉落、投掷、刺穿、焚烧或其他危害方式。不要对已损坏的气室重新加压。
温度 禁止对气室加热超过50°C,且不要在0℃以下冷却。
漏孔损坏 如果标准漏孔有明显的损坏迹象,请停止使用。

3.技术指标及特性
1)充装气体:氦气
2)测量范围:一般在10-7-10-12 Pa·m3/s
3)示值允许偏差: ±15% 
4)温度补偿:3%/℃
5)抗堵塞能力:优异
6)稳定性:长时间内漏率稳定
7)阀门:手动(选配)
8)接口:KF25/M14*1.5(内)或定制
9)出口:真空
10)氦室容积:150mL/200mL 
11)充压:不可自行充气加压
12)年衰减:(阀门常开)10-7 Pa·m3/s≤10%/y、10-8 Pa·m3/s≤3%/y、10-9 Pa·m3/s≤1.5%/y、  10-10Pa·m3/s≤0.5%/y、10-11Pa·m3/s≤0.3%/y 、10-12Pa·m3/s≤0.1%/y

4.标准漏孔组成

4.1漏孔元件
石英玻璃,易碎注意保护。
4.2储气罐(气室)
气室是向漏孔提供气源的装置,一般是具有固定体积的铝制容器。
4.3连接
根据泄漏类型,标准漏孔的出口端连接到真空系统、检漏仪或其他一些工艺系统。漏孔连接一般为KF25标准接口或定制。
4.4隔离阀
为了便于操作标准漏孔,可以在出口端口配置隔离阀。
4.5标签
标准漏孔标签,在尺寸允许的情况下,其一般包括漏孔的一些重要物理数据,这些数据在相应的校准证书上均有说明。